工位數
Number operating positions |
10 |
預真空室數
Number of fore-vacuum chamber |
2 |
工作室極限壓力（Pa）
Ultimate pressure of chamber |
6×10-1 |
預真空室極限壓力（Pa）
Ultimate pressure of fore-vacuum chamber |
2.6×103 |
各工作室抽氣速率（L/S）
Pumping speed of each chamber |
2 |
泵轉速（r/min）
Rotational speed of pump |
500 |
用油量（L）
Consumption of oil |
12 |
電機功率（Kw）
Motor power |
1.5 |
公司網站
南光機器在線商城