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型號
Mode
技術參數
Technical Data
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L1113Ⅱ-1 |
L1112Ⅱ-1（無油） |
L1122Ⅱ-1 |
| ******加熱溫度（空爐 ）Max.Heating Temperature（no-load） |
1300℃ |
1200℃ |
2200℃ |
額定工作溫度
Rated Working Temperature |
1200℃ |
1100℃ |
2100℃ |
加熱方式
Heating Mode |
鎢桿組（一段加熱）Tungsten Rods |
鎢桿組（一段加熱）Tungsten Rods |
鉭皮
Tantalum sheet |
爐溫均勻性
Furnace Temperature Uniformity |
±5℃ |
±5℃ |
±5℃ |
爐膛尺寸
Furnace Chamber Dimension |
Φ200×300 mm |
Φ200×300 mm |
Φ75×200 mm |
控溫精度
Temperature Control Precision |
±1℃ |
±1℃ |
±1℃ |
空載室溫到工作溫度時間
From Room Temperature to working temperature |
< 40Min |
< 40Min |
< 40Min（2100℃） |
真空系統
Vacuum System |
擴散泵系統
Diffusion Pump System |
分子泵系統
Turbo Pump System |
分子泵系統
Turbo Pump System |
極限真空（空爐）
Ultimate Pressure（no-load） |
5×10-3Pa |
7×10-4Pa |
1.3×10-5Pa |
工作真空度
Working Vacuum |
5×10-2Pa |
7×10-3Pa |
5×10-4Pa |
壓升率
Pressure Rise Rate |
0.67 Pa/h |
0.5 Pa/h |
0.67 Pa/h |
冷卻水壓
Cooling Water Pressure |
0.2 M Pa～ 0.3 M Pa |
0.2 M Pa～ 0.3 M Pa |
0.2 M Pa～ 0.3 M Pa |
總重量
Total Weight |
1800Kg |
1800 Kg |
1800 Kg |
設備總功率
Total Power |
30 KW |
22 KW |
30 KW |
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